電阻/電離復合真空計是基于低真空測量電阻單元(ZJ-52T電阻規)與高真空測量電離單元(ZJ-27電離規)技術組合，以完成1×105~1×10-5Pa連續測量與控制。因此該真空計系列具有電阻真空計與電離真空計所有技術參數與性能特點；同時又增加了新的功能。

電阻電離復合真空計 電阻真空計  電離真空計   

型號:DL10-ZDF-III

概述：

電阻/電離復合真空計是基于低真空測量電阻單元（ZJ-52T電阻規）與高真空測量電離單元（ZJ-27電離規）技術組合，以完成1×105~1×10-5Pa連續測量與控制。因此該真空計系列具有電阻真空計與電離真空計所有技術參數與性能特點；同時又增加了新的功能。該真空計系列具有兩種工作模式：手動模式與自動模式。手動模式工作時，相當于獨立的電阻真空計和電離真空計；自動模式工作時，首先電阻單元進入測量，當電阻單元測量真空度高于電離規可以開啟的真空度時，電離規燈絲自動被點亮（開啟），并進入高真空測量，實現了從大氣壓（常壓）到高真空的自動連續測量。還增加了外設（PLC）開閉電離規功能，以實現電離規工作于*真空環境，使電離規工作壽命zui大化。部份機型采用了開關電源供電及開關直流電源驅功穩定電離規燈絲發射電路，實現了高度集成無工頻變壓器設計，實現了電離規燈絲冷態預熱緩啟功，克服了電離規燈絲冷態啟動過沖現象，延長了規管壽命，實現了寬廣的交流電源適應能（AC/90V ~260V ），實現了寬廣的電纜線長度自適應能力（3-30米）。是目前穎的電離規燈絲驅動穩定技術。為適應真空設備自動化技術，并集成了強大的繼電器觸點控制、串行通訊、真空模擬量等擴展功能。特別適用于真空應用設備極限真空為10-3-10-4Pa量級，工作真空為10-210-3Pa量級，從大氣壓（常壓）至高真空的測量與控制。

◆技術參數：

* 規管型號：電阻規ZJ-52T /電離規ZJ-27

* 測量范圍：連續測量（自動模式）1×105~1×10-5Pa

獨立測量（手動模式）電阻單元1×105~1×10-1 Pa；電離單元5~1×10-5Pa

* 測量路數：1低1高

* 控制范圍：

電阻單元 2.5×103~1×100Pa

電離單元 1×100～1×10 -4Pa

* 控制路數：4路可擴展至4或8路

* 控制精度： ± 1%

* 控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力AC220V/3A （或DC28V/3A）無感負載

* 去氣方式： 焦耳去氣

* 儀器采樣時間： 1S

* 電源：90-260V/50Hz或220V±10% 50Hz

* 功耗：55W

* 重量：6Kg/5Kg/4Kg （視機箱尺寸而定）

* 機箱尺寸：240×88×280 或 480×88×280

265×119×280 或480×119×280 （寬×高×深）

◆性能特點：

* LED綠屏數字顯示

* 寬廣的測量范圍

* 快速的反應速度

* 微處理器修正規管非線性，減少了測量誤差

* 精密真空信號放大電路，穩定的零點和滿度

* 寬廣的穩發射回路，自適應調節穩定電離規發射電流

* 全量程自動切換，無需手動換檔

* 超量程自動保護，不會因系統突然曝露大氣而損壞規管。

* 光電隔離，數字濾波，優異的抗干擾能力，穩定、可靠的真空測量

* 功能化、模塊化結構設計

* 點控或區域控制，控制上、下限區間任意設定

* 控制點掉電（失電）保護，記憶功能。

* 簡化功能按鍵，操作十分簡單，不會因操作失誤而損壞規管或儀器。

* PVC 彩色面板，外型美觀大方

◆ 選配擴展功能及選件：

* 選配功能:0～5/10V /10mV， 0/4～10/20mA 等真空度摸擬量輸出

* 選配功能: RS232 、RS485等單向或雙向接口輸出

* 選配功能:打印機及接口

* 規管接口選件：15.5外徑玻規；15.5外徑金屬直管 DN16/25/35CF ;DN10/16/25/40KF;NPT;VCR;G管螺紋等接口

* 線長選件:3米/5米/10米/15米/20米/25米/30米......zui長至100 米

◆ 說明：

1、電阻單元有效測量范圍：3 ×10 3 ～5 ×10 -1 Pa

1 × 10 5 ～ 3 × 10 3 Pa 及5 × 10 -1～1 ×10 -1 Pa 測量值僅作參考。

2、電阻單元測量值（用干燥空氣或氮氣校準的值）與氣體成份有關，若需測量特殊氣體的真空度，應選用其它相應型號的真空計。

北京北信未來電子科技中心

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：王華  

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